Sputtering yields for light ions as a function of angle of incidence

Author:

Bay H. L.,Bohdansky J.

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

General Materials Science,General Chemistry,General Engineering

Reference21 articles.

1. H.L.Bay, J.Roth, J.Bohdansky: J. Appl. Phys.48, 4722 (1977)

2. J.Bohdansky, H.L.Bay, J.Roth: 7th Int. Vac. Congr. and 3rd Int. Conf. Solid Surfaces, Vienna, ed. and publ. by R.Dobrozemsky, F.Rüdenauer, F.P.Viehböck, A.Breth (1977) p. 1509

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