1. K. Mistry et al, in Technical Digest of International Electron Devices Meeting (IEDM), Washington, 247, 2007
2. T. Aoyama, Kougyou Zairyou, 52(3), 30 (2004)
3. S. Horii, K. Yamamoto, M. Asai, H. Miya, I. Kaneko, T. Ishihara, S. Hayashi, M. Niwa, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 6963 (2004)
4. K. Yamamoto, M. Asai, S. Horii, H. Miya, M. Niwa, J. Vac. Sci. Technol. A21(4), 1033 (2003)
5. M. Lukosius, Ch. Wenger, T. Schroeder, J. Dabrowski, R. Sorge, I. Costina, H.-J. Müssig, S. Pasko, Ch. Lohe, Microelectron. Eng. 84(2165), 9–10 (2007)