Electrical Behaviour of Heavily-Doped Ion Implanted Layers in Silicon

Author:

Freeman J. H.,Chivers D. J.,Gard G. A.,Hinder G. W.,Smith B. J.,Stephen J.

Publisher

Springer US

Reference7 articles.

1. Mayer, J.W. et al. — Ion Implantation in Semiconductors, Chapter 5. Academic Press, 1970.

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