Sphere Diameter Measurement Using Micro-Coordinate Measuring Machine

Author:

KONDO Yohan1

Affiliation:

1. (国研)産業技術総合研究所

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference18 articles.

1. 1) 根岸真人:接触式形状測定の企業における技術開発動向, 精密工学会誌, 80, 6 (2014) 506.

2. 2) T. Kume, K. Hiraguri, Y. Imamura Y. Matsuzawa, T. Saito, H. Miyashita, Y. Takeo, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, H. Hashizume and H. Mimura : Fabrication of soft x-ray monolithic Wolter mirror based on surface scanning measurement using touch probe, Rev. Sci. Instrum., 93, 6 (2022) 063101.

3. 3) 森田晋也:加工機上計測および光学機能シミュレーションによる超精密光学素子の高精度化技術, 精密工学会誌, 85, 7 (2019) 632.

4. 4) 超高精度三次元測定機UA3Pホームページ, https://www.panasonic.com/jp/company/ppe/ua3p.html

5. 5) 近藤余範:μ-CMMを用いた表面形状計測, 精密工学会誌, 87, 12 (2021) 939.

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