Countermeasure of Exposure Machine for Earthquake

Author:

TAKAHASHI Masato,MAKINOUCHI Susumu,WAKUI Shinji

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference8 articles.

1. 1) 涌井伸二:精密位置決めにおけるアクティブ除振装置の役割,精密工学会誌, 73, 4 (2007) 405.

2. 2) 株式会社ニコン (高橋正人,道正智則,涌井伸二) :防振装置,露光装置及び防振方法,特願2006-510733 (2006).

3. 3) 株式会社ニコン (荒木康雄,坂本英昭,高橋正人ほか) :露光装置及びデバイスの製造方法,特願2003-148665 (2003).

4. 4) 原田宙幸他:半導体製造における地震対策ハンドブック,REALIZE INC.

5. 5) 株式会社ニコン (高橋正人,山本幸治) :基板処理装置及びデバイスの製造方法,特開2005-166996.

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