Study on the Crucial Factors for Deposition Rate in the High-rate Deposition Process of Polycrystalline Silicon Films by Atmospheric Pressure Plasma CVD

Author:

OHMI Hiromasa,KAKIUCHI Hiroaki,YASUTAKE Kiyoshi,NAKAHAMA Yasuji,EBATA Yusuke,YOSHII Kumayasu,MORI Yuzo

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Reference19 articles.

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