Progress in 3D-Printed Micromachines

Author:

MARUO Shoji1

Affiliation:

1. 横浜国立大学大学院工学研究院

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference45 articles.

1. 1) 樋口俊郎:マイクロマシン技術総覧―ナノテクノロジーの基盤技術,産業技術サービスセンター,(2013).

2. 2) 桑野博喜:MEMS/NEMS工学全集,テクノシステム,(2009).

3. 3) 藤田博之:EE Textセンサ・マイクロマシン工学,オーム社,(2005).

4. 4) K.S. Teh:Additive direct-write microfabrication for MEMS: A review, Frontiers of Mechanical Engineering, 12, 4(2017)490.

5. 5) M. Vaezi, H. Seitz and S. Yang: A review on 3D micro-additive manufacturing technologies, The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 67, 5-8(2013)1721.

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