Development of Pure Torsion Test System for Micro Torsion Bars

Author:

FUJII Mitsumi,NISHIMURA Fumihito1

Affiliation:

1. 岩手大学理工学部

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference18 articles.

1. 1) 大原淳士, 加納一彦, 竹内幸裕, 大塚義則 : 新しいD-RIEプロセスにおけるSi/SiO2マスクエッチング選択比の向上, デンソーテクニカルレビュー, 6, (2001), 72.

2. 2) 伊藤康博, 明石照久, 金丸昌敏, 風間敦 : MEMS応用光マトリクススイッチの開発, 日立金属技報, 20, (2004), 39.

3. 3) Takayuki Iseki, Mikio Okamura, Takashi Sugawara : High-Speed and Wide-Angle Deflection Optical MEMS Scanner Using Piezoelectric Actuation, IEEJ TRANSACTION ON ELECTRICAL AND ELECTRONICS ENGINEERING, 5, (2010), 361

4. 4) 後呂考亮, 中村英夫:次世代周辺環境認識技術の開発及び実証, JARI Research Journal, (2016), 1.

5. 5) Hakan Urey : Torsional MEMS scanner design for high-resolution display systems, Proc. SPIE, 4773, (2002), 27.

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