Improvement of Isolated table Using Auxiliary Tank

Author:

TAKAHASHI Masato,WAKUI Shinji

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference9 articles.

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2. 2) 株式会社神戸製鋼所(藤川猛,黒橋道也,山村正明,西谷邦彦,松隈正樹,伊藤敦):流体式防振装置,公開実用新案公報 昭62-174134(1987).

3. Realization of virtual sub chamber on active controlled pneumatic isolation table with pressure differentiator

4. 4) 涌井伸二,長谷川雄三,藤原真樹,高橋正人:相対位置の微分信号を用いた空圧式除振装置の制御,日本機械学会論文集C, 73, 726, (2007) 453.

5. 5) キヤノン(涌井伸二,間山武彦,加藤宏昭):能動的除振動装置,特許第3286201 号(2002)

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