Wafer Defect Map Similarity Search using Deep Learning in Semiconductor Manufacturing

Author:

Wang Sen,Yan Shijia,Shen Qiang,Luo Cong,Ai Juan,Li Lei,Wang Desheng,Ding Shenglan,Xia Qing

Publisher

IEEE

Cited by 3 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

1. The Future of the Memory Semiconductor Industry;Handbook of Emerging Materials for Semiconductor Industry;2024

2. Automatic Fault Detection in Soldering Process During Semiconductor Encapsulation;Informatics in Control, Automation and Robotics;2023

3. DeepWafer: A Generative Wafermap Model with Deep Adversarial Networks;2022 21st IEEE International Conference on Machine Learning and Applications (ICMLA);2022-12

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