Highly sensitive micro coriolis mass flow sensor

Author:

Haneveld J.,Lammerink T.S.J.,Dijkstra M.,Droogendijk H.,de Boer M.J.,Wiegerink R.J.

Publisher

IEEE

Cited by 7 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Compact Micro-Coriolis Mass-Flow Meter with Optical Readout;Micromachines;2024-01-10

2. Micro Coriolis Mass Flow Sensor Based on Electroplated Nickel Tubes;2022 IEEE Sensors;2022-10-30

3. Micro Coriolis Mass Flow Sensor with Large Channel Diameter by Wet Etching of Silicon;2022 IEEE Sensors;2022-10-30

4. Design Optimization of Micro Coriolis Flowmeters;2022 IEEE International Instrumentation and Measurement Technology Conference (I2MTC);2022-05-16

5. Experimental analysis of thermomechanical noise in micro Coriolis mass flow sensors;Sensors and Actuators A: Physical;2018-03

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