A 28nm HKMG super low power embedded NVM technology based on ferroelectric FETs

Author:

Trentzsch M.1,Flachowsky S.1,Richter R.1,Paul J.1,Reimer B.1,Utess D.1,Jansen S.1,Mulaosmanovic H.2,Muller S.2,Slesazeck S.2,Ocker J.2,Noack M.2,Muller J.3,Polakowski P.3,Schreiter J.4,Beyer S.1,Mikolajick T.2,Rice B.1

Affiliation:

1. GLOBALFOUNDRIES Fab1 LLC & Co. KG, Dresden, Germany

2. NaMLab gGmbH, Dresden, Germany

3. Fraunhofer IPMS, Dresden, Germany

4. RacyICs GmbH, Dresden, Germany

Publisher

IEEE

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