Record-high 121/62 μA/μm on-currents 3D stacked epi-like Si FETs with and without metal back gate

Author:

Yang Chih-Chao,Chen Szu-Hung,Shieh Jia-Min,Huang Wen-Hsien,Hsieh Tung-Ying,Shen Chang-Hong,Wu Tsung-Ta,Wang Hsing-Hsiang,Lee Yao-Jen,Hou Fu-Ju,Pan Ci-Ling,Chang-Liao Kuei-Shu,Hu Chenming,Yang Fu-Liang

Publisher

IEEE

同舟云学术

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