Development of a Quartz-MEMS Resonator
Author:
Affiliation:
1. ONERA The French Aerospace Lab,Physics, Space, Environment, Instrumentation Dept.,France
2. CNRS UFC ENSMM UTBM,FEMTO-ST Institute,France
3. CNES,Radio Frequency Dept.,France
Funder
European Space Agency
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10272029/10272034/10272035.pdf?arnumber=10272035
Reference5 articles.
1. Thickness-shear and flexural vibrations of partially plated, crystal plates
2. Modelisation et analyse numerique de resonateurs a quartz a ondes de volume;clairet;Ph D Dissertation,2014
3. Mems piezoelectriques pour applications temps frequence;chapellier;Ph D Dissertation,2019
4. Piezoelectric MEMS Resonators: A Review
5. Quantum Limit of Quality Factor in Silicon Micro and Nano Mechanical Resonators
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