Design and Stiffness Modeling of a Compact 3-DOF Compliant Parallel Nanopositioner for the Tool Servo of the Ultra Precision Machining
Author:
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/8653250/8664715/08664908.pdf?arnumber=8664908
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1. Novel Electrothermal Microgrippers Based on a Rotary Actuator System;Micromachines;2022-12-10
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3. Design and stiffness modeling of a four-degree-of-freedom nanopositioning stage based on six-branched-chain compliant parallel mechanisms;Review of Scientific Instruments;2020-06-01
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