Room-temperature Si-Si and Si-SiN wafer bonding

Author:

Kondou Ryuichi,Wang Chenxi,Suga Tadatomo

Publisher

IEEE

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1. Effects of argon plasma pretreatment of Si wafers on Si-Si bonding based on Mo/Au interlayers;Surface Topography: Metrology and Properties;2023-05-22

2. Recent Advances and Trends in Cu–Cu Hybrid Bonding;IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology;2023-03

3. Cu-Cu Hybrid Bonding;Chiplet Design and Heterogeneous Integration Packaging;2023

4. Hybrid Bonding;Semiconductor Advanced Packaging;2021

5. Flip Chip Technology Versus FOWLP;Fan-Out Wafer-Level Packaging;2018

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