Piezoelectrically Actuated Micromirror Using Heavy Frame Supported with Soft Suspension Springs
Author:
Affiliation:
1. Silicon Austria Labs,Austria
Funder
Silicon Austria Labs
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10439241/10439292/10439391.pdf?arnumber=10439391
Reference11 articles.
1. Resonant PZT MEMS Mirror with Segmented Electrodes
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