Edge Termination Design Considerations for 1.2kV 4H-SiC MOSFETs While Utilizing Room Temperature Ion Implantations

Author:

Mancini Stephen A1,Jang Seung Yup1,Chen Zeyu2,Kim Dongyoung1,Raghothamachar Balaji2,Dudley Michael2,Sung Woongje1

Affiliation:

1. University at Albany, State University of New York,College of Nanoscale Science and Engineering,Albany,NY,USA,12203

2. Stoney Brook University,Department of Material Science and Chemical Engineering,Stoney Brook,NY,USA,11794

Funder

National Renewable Energy Laboratory

U.S. Department of Energy

Advanced Manufacturing Office

Argonne National Laboratory

Publisher

IEEE

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