Piezoelectric over Silicon-on-Nothing (pSON) process
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Publisher
IEEE
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http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9593294/9593298/09593772.pdf?arnumber=9593772
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1. Cavity-agnostic acoustofluidic manipulations enabled by guided flexural waves on a membrane acoustic waveguide actuator;Microsystems & Nanoengineering;2024-03-08
2. High-Accuracy Dry-Bulb Temperature Sensing with Short-Time Fourier Transform (STFT) Using PSON pMUTs;2023 IEEE SENSORS;2023-10-29
3. Long-Range High-Resolution Imaging With Silicon-on-Nothing ScAlN pMUTs;IEEE Sensors Journal;2023-10-15
4. Cavity-Agnostic Acoustofluidic Functions Enabled by Guided Flexural Waves on a Membrane Acoustic Waveguide Actuator;2023-09-22
5. Extraction of Material Properties of A Thin Silicon Membrane Embedded in A Piezoelectric Stack;2023 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS);2023-09-03
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