2D Electrothermal MEMS Waveguide Positioner
Author:
Affiliation:
1. École de Technologie Supérieur,Departement of Electrical Engineering,Montreal,QC,Canada,H3C 13K
Funder
Natural Sciences and Engineering Research Council of Canada
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9975352/9975444/09975630.pdf?arnumber=9975630
Reference7 articles.
1. On-Chip Positionable Waveguides for Submicrometric Photonic Alignment
2. Digitally Controlled Silicon Nitride Optical Switch
3. MEMS for Photonic Integrated Circuits
4. Devices Based on Co-Integrated MEMS Actuators and Optical Waveguide: A Review
5. Integrated 1 × 3 MEMS silicon nitride photonics switch
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