Low Temperature Characterization and Modeling of Hot Carrier Injection in 14 nm Si FinFET

Author:

Qu Junru1,Liu Dong1,Chen Bing2,Sun Ying1,Li Xinze1,Jin Chengji3,Chen Jiajia3,Qian Haoji3,Shen Rongzong3,Yu Xiao3,Gao Dawei4,Cheng Ran1,Han Genquan2

Affiliation:

1. School of Micro-Nano Electronics, Zhejiang University,Hangzhou,China,310000

2. School of Microelectronics, Xidian University,Xi'an,China,710071

3. Research Center for Intelligent Chips and Devices,Zhejiang Lab,Hangzhou,China,311121

4. Zhejiang ICsprout Semiconductor,Hangzhou,China,311200

Funder

Zhejiang Provincial Natural Science Foundation

National Natural Science Foundation of China

Fundamental Research Funds for the Central Universities

Publisher

IEEE

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