Equivalent Circuit Modeling of Air-Coupled Laterally Actuated Electrostatic Bulk-Mode MEMS
Author:
Affiliation:
1. 1ESYCOM Laboratory, UMR 9007 CNRS, Université Gustave Eiffel, Marne-la-Vallée, France
2. CERTES (EA 3481), Université Paris-Est Créteil, Créteil, France
Publisher
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/9292640/10418783/10555284.pdf?arnumber=10555284
Reference62 articles.
1. Resonator sensors-a review
2. Resonant silicon sensors
3. Micro resonant force gauges
4. Mechanical Microsensors
5. MEMS technology for timing and frequency control
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