Applications of Atmospheric-Pressure Glow Plasma: Practical Uses of the Atmospheric-Pressure Plasma Processing Unit "Aiplasma"

Author:

SAWADA Yasushi1

Affiliation:

1. Automation Controls Company, Matsushita Electric Works, Co.

Publisher

Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research

Reference6 articles.

1. Stable glow plasma at atmospheric pressure

2. [2] A. Nagata, S. Takehiro, H. Sumi, M. Kogoma, S. Okazaki and Y. Horiike, Proc. Jpn. Symp. Plasma Chem. 2, 109 (1989).

3. [3] 澤田康志, 山崎圭一, 井上吉民 : 第8回マイクロエレクトロニクスシンポジウム (JIEP, Ohmiya, 1998) p. 213.

4. [4] 高倉信之, 毛野拓治, 安田正治, 澤田康志, 井上吉民, 谷口研二 : 電子情報通信学会 101, 37 (2001).

5. [5] Y. Sawada, K. Yamazaki, N. Taguchi and T Shibata, Proc. Int. Conf. Electronics Packaging (IEMT/IMC Symposium, Tokyo, 2003) p. 250.

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