1. 1) Roger, A., Eicher, J., Munchmeyer, R., Peter, R-P. and Mohr. J. : J. Micromech. Microeng., 2, 133 (1992)
2. 2) Bley, P. and Mohr, J. : FED ジャーナル, 5, 20 (1994)
3. 3)Numazawa, T., Hirata, Y. and Takada, H. : Microsystem Technologies, 2, 46 (1996)
4. 4)高田博史, 平田嘉裕, 奥山 浩, 沼澤稔之 : 電気学会論文誌 C, 116(12), 1334 (1996)
5. 5)Vollmer, H., Ehrfeld, W. and Hagmann, M. : KfK-Bericht, Nr.4859 (1987)