基于光学显微视觉的精密定位测量综述（特邀）
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Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics
Reference127 articles.
1. Measurement technologies for precision positioning;H Bosse;CIRP Annals,2015
2. A flip-chip alignment system with the property of deviation self-correction at the nanoscale;S F He;IEEE Transactions on Industrial Electronics,2021
3. Automated robotic manipulation of individual colloidal particles using vision-based control;S Fatikow;IEEE/ASME Transactions on Mechatronics,2015
4. Image-guided nanopositioning scheme for SEM;S Dembélé;IEEE Transactions on Automation Science and Engineering,2018
5. Photon-counting laser interferometer for absolute distance measurement on rough surface;C K Pang;Review of Scientific Instruments,2019
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