KrF深紫外光刻投影物镜光机热集成分析与优化

Author:

Han Xing 韩星,Jiang Lun 江伦,Li Yanwei 李延伟,Li Junchi 李骏驰

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Reference30 articles.

1. Kinematic lens mounting with distributed support and radial flexure;W T Novak,0

2. 光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析;华洋洋;光电工程,2013

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