数字微镜器件衍射模型建立及其在激光直写机台中的应用

Author:

Fang Lin 方林,Cai Jian 蔡健,Ye Jialiang 叶加良,Cai Wei 蔡潍,Zhang Qi 张琦

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Reference20 articles.

1. High-resolution maskless lithography;Z Q Feng;Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers,2003

2. An overview of Texas Instruments digital micromirror device (DMD) and its application to projection displays;J B Sampsell;Society for Information Display International Symposium Digest of Technology Papers,1993

3. Application of spatial light modulators for microlithography;K Tord;Physica A: Statistical Mechanics and its Applications,2004

4. Recent trend of high repetition rate ultrashort laser pulse generation and frequency conversion;Z H Cong;Chinese Journal of Lasers,2021

5. 高重复频率超短激光脉冲产生及频率变换技术发展趋势;郑佳琪;中国激光,2021

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