环形器噪声对激光干涉测量系统影响分析

Author:

Hao Yiwei 郝义伟,Kong Xinxin 孔新新,Cai Qisheng 才啟胜,Zhang Wenxi 张文喜,Wu Zhou 伍洲,Dai Yu 戴玉,Wang Yongbiao 王永彪

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

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1. 对准标记鲁棒性分析方法及仿真;Acta Optica Sinica;2023

2. 基于双星编队的高精度光载波相位测量技术;Laser & Optoelectronics Progress;2023

3. 面向光刻机晶圆台的超精密光栅定位技术;Laser & Optoelectronics Progress;2022

4. 全光纤微电流传感器研究进展;Laser & Optoelectronics Progress;2022

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