P2Atom Probe Tomography (APT) combined with in-situ TEM; 3D Analysis for Electronic Memory Device Technology

Author:

Lee J.H.,Jeong W.Y,Park C. G.

Publisher

Oxford University Press (OUP)

Subject

Radiology Nuclear Medicine and imaging,Instrumentation,Structural Biology

Reference3 articles.

1. Lee J. H. , Lee B. H. , Kim Y. T. , Kim J. J. , Lee S. Y. , Lee K. P. , Park C.G. , Micron (2014) 33–37.

2. Lee J. H. , Chae B.-K , Kim J.-J. , Lee S. Y. , Park C. G. , Electronic Materials Letters (2015) 60–64,

3. Woo J.Y. et al ., VLSI Technology Digest of Technical Papers (2014) 1–4.

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