Ion Count-Aided Microscopy for Quantitative, Shot Noise-Mitigated Secondary Electron Imaging
Author:
Affiliation:
1. Department of Electrical and Computer Engineering, Boston University , Boston, MA , USA
2. Department of Physics and Astronomy, Rutgers University , New Brunswick, NJ , USA
3. Ionwerks Inc. , Houston, TX , USA
Publisher
Oxford University Press (OUP)
Link
https://academic.oup.com/mam/article-pdf/30/Supplement_1/ozae044.987/58670109/ozae044.987.pdf
Reference9 articles.
1. Source shot noise mitigation in focused ion beam microscopy by time-resolved measurement
2. Continuous-Time Modeling and Analysis of Particle Beam Metrology
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