4D STEM in SEM with a Fast Pixelated Direct Detector

Author:

Huth Martin1,Eckert Björn12,Majewski Petra1,Aschauer Stefan1,Strüder Lothar23,Soltau Heike1

Affiliation:

1. PNDetector GmbH , München , Germany

2. University of Siegen, Department of Physics , Siegen , Germany

3. PNSensor GmbH , München , Germany

Publisher

Oxford University Press (OUP)

同舟云学术

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