1. M. Hauptmann et al.: Microelectron. Eng. 87 (2010), p.1512.
2. W. Kim et al.: Appl. Phys. Lett. 94 (2009), p.081908.
3. T. Yamashita and K. Ando: Ultrason. Sonochem. 52 (2019), p.268.
4. M. Minnaert: Philos. Mag. 16 (1933), p.235.
5. M. Devaud et. al.: Eur. J. Phys. 29 (2008), p.1263.