Author:
Балзовский Е.В.,Смирнов С.С.
Abstract
Приведены результаты численного моделирования распределения поля в цилиндрическом резонаторе камеры CVD-ректора в среде CST Studio Suite. На частоте 2.45 ГГц помимо основной моды ТМ011 в резонаторе присутствуют вторичные радиальные максимумы, связанные с одновременным возбуждением ТМ021 и высших мод. Выявлено, что на модовый состав существенно влияет кварцевое кольцо, разделяющее вакуумную часть от части, находящейся под атмосферным давлением. Найдена оптимальная геометрия дисковой камеры резонатора, в которой максимальная напряженность электрического поля достигается вблизи подложки с образцами. Для повышения стабильности зажигания СВЧ-разряда в камере резонатора используется подвижный поршень. По результатам моделирования изготовлен образец резонаторной камеры, экспериментально обнаружены стационарные режимы зажигания и устойчивого горения плазмы.