До методики визначення поперечного тензоопору в багатодолинних напівпровідниках

Author:

Гайдар Г.П.ORCID

Abstract

Досліджено поперечний (струм у зразка орієнтований перпендикулярно до осі деформації) і поздовжній(струм спрямований уздовж осі деформації) тензоопори високоомних кристалів n-Si. Обчислено параметранізотропії рухливості K для цих двох випадків. Встановлено збіг (у межах похибок експериментів) одер-жаних значень параметра K у разі проходження струму вздовж напрямку деформування і перпендикуляр-но до нього. На кристалах n-Ge підтверджено надійність методики вимірювань поперечного тензоопоруза допомогою обчислення параметра анізотропії рухливості із залученням даних двох незалежних експери-ментів. Одержано хороший збіг значень параметра анізотропії K, обчислених за даними вимірювань тількипоздовжнього тензоопору та за даними вимірювань поздовжнього і поперечного тензоопорів. Експеримен-тально підтверджено, що в умовах сильної направленої пружної деформації стиснення (за відсутностіпрояву компонент деформації зсуву в кристалах n-Si) відбуваються лише відносні зміщення ізоенергетич-них еліпсоїдів у багатодолинних напівпровідниках за шкалою енергій, однак форма еліпсоїдів залишаєтьсяпрактично незмінною.

Publisher

National Academy of Sciences of Ukraine (Co. LTD Ukrinformnauka) (Publications)

Reference15 articles.

1. Bir, G. L. & Pikus, G. E. (1974). Symmetry and strain-induced effects in semiconductors. New York: Wiley (in Russian).

2. Tensoresistance as an information source on mobility anisotropy parameter K = μ=/μ|| in multivalley semiconductors and certain new possibilities of deformation metrology;Gaidar;Surf Eng Appl Electrochem 51 No 2 pp 188-195 https,2015

3. Budzuliak, S. I. (2012). Tensoresistive effects in strongly deformed n-Si and n-Ge crystals. Physics and Chemistry of Solid State, 13, No. 1, pp. 34-39 (in Ukrainian). http: //page. if. ua/uploads/pcss/vol13/! 1301-05. pdf

4. On methodology of measuring parameters with the increased sensitivity to residual or irradiation induced inhomogeneities in semiconductors;Gaidar;Semicond Phys Quantum Electron Optoelectron 12 No 4 pp 324-327 http,2009

5. Gorin, A. E., Gromova, G. V., Ermakov, V. M., Kogoutyuk, P. P., Kolomoets, V. V., Nasarchuk, P. F., Panasjuk, L. I. & Fedosov, S. A. (2011). Silicon p-MOS and n-MOS transistors with uniaxially strained channels in electronic device nanotechnology. Ukr. J. Phys., 56, No. 9, pp. 917-921. http: //archive. ujp. bitp. kiev. ua/files/journals/56/9/560907p. pdf

同舟云学术

1.学者识别学者识别

2.学术分析学术分析

3.人才评估人才评估

"同舟云学术"是以全球学者为主线,采集、加工和组织学术论文而形成的新型学术文献查询和分析系统,可以对全球学者进行文献检索和人才价值评估。用户可以通过关注某些学科领域的顶尖人物而持续追踪该领域的学科进展和研究前沿。经过近期的数据扩容,当前同舟云学术共收录了国内外主流学术期刊6万余种,收集的期刊论文及会议论文总量共计约1.5亿篇,并以每天添加12000余篇中外论文的速度递增。我们也可以为用户提供个性化、定制化的学者数据。欢迎来电咨询!咨询电话:010-8811{复制后删除}0370

www.globalauthorid.com

TOP

Copyright © 2019-2024 北京同舟云网络信息技术有限公司
京公网安备11010802033243号  京ICP备18003416号-3