1. Mikroelektronik Centret, Denmark Technical University, DK‐2400 Lyngby, Denmark
2. Heinrich‐Hertz‐Institut Berlin, Germany
3. Institut für Halbleiter und Mikrosystemtechnik, Technische Universität Dierden Dresden, Germany
4. Bundesanstalt für Materialforschung, Berlin, Germany
5. University of Aarhus, Denmark