Energy effective dual-pulse bispectral laser for EUV lithography

Author:

Zhevlakov A. P.1,Seisyan R. P.2,Bespalov V. G.1,Elizarov V. V.1,Grishkanich A. S.1,Kascheev S. V.1,Sidorov I. S.3

Affiliation:

1. ITMO Univ. (Russian Federation)

2. Ioffe Physical Technical Institute (Russian Federation)

3. Univ. of Eastern Finland (Finland)

Publisher

SPIE

Reference19 articles.

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