Triple AIM evaluation and application in advanced node-Reference-Cited by-同舟云学术

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Triple AIM evaluation and application in advanced node

Published:2016-03-08 Issue: Volume: Page:
ISSN:0277-786X
Container-title:SPIE Proceedings
language:
Short-container-title:

Author:

Wang Gary C.¹,Lio En Chuan¹,Hung Yuting¹,Chen Charlie¹,Wang Sybil¹,Weng Tang Chun¹,Lin Bill¹,Yu Chun Chi¹

Affiliation:

1. UMC Taiwan (Taiwan)

Publisher

SPIE

Reference6 articles.

1. Multi-Layer Overlay Measurement Recent Developments;Nuriel,2013

2. Smaller, smarter, faster and more accurate: The new overlay metrology;Nelson,2010

3. ITRS Metrology roadmap; http://www.itrs.net/Links/2011ITRS/2011Chapters/2011Metrology.pdf

4. Double patterning for 32nm and below: an update;Jo,2008

5. Overlay target design and evaluation for SADP process

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