Compensated laser encoder with symmetric and quasi-common-path heterodyne interferometry

Author:

Hsu Cheng-Chih,Lee Ju-Yi,Wu Chyan-Chyi

Publisher

SPIE

Cited by 3 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

1. High-Accuracy and High-Tolerance Laser Encoder With a Grating-Pyramid Configuration;IEEE Sensors Journal;2023-04-15

2. A survey on the grating based optical position encoder;Optics & Laser Technology;2021-11

3. Displacement measuring grating interferometer: a review;Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering;2019-05

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