Compensated laser encoder with symmetric and quasi-common-path heterodyne interferometry
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Publisher
SPIE
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1. High-Accuracy and High-Tolerance Laser Encoder With a Grating-Pyramid Configuration;IEEE Sensors Journal;2023-04-15
2. A survey on the grating based optical position encoder;Optics & Laser Technology;2021-11
3. Displacement measuring grating interferometer: a review;Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering;2019-05
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