High-temperature LPP collector mirror-Reference-Cited by-同舟云学术

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High-temperature LPP collector mirror

Published:2006-03-10 Issue: Volume: Page:
ISSN:0277-786X
Container-title:SPIE Proceedings
language:
Short-container-title:

Author:

Feigl Torsten,Yulin Sergiy,Benoit Nicolas,Kaiser Norbert,Böwering Norbert R.,Ershov Alex I.,Khodykin Oleh V.,Viatella John,Bruzzone Kent,Fomenkov Igor V.,Myers David W.

Publisher

SPIE

Cited by 4 articles. 订阅此论文施引文献订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. 极紫外光源用大口径Mo/Si多层膜厚度控制与热稳定性研究;Chinese Journal of Lasers;2024

2. Effect of Different Substrate Materials on Focusing Beam Performance of EUV Collector;Laser & Optoelectronics Progress;2020

3. Laser-produced plasma source system development;SPIE Proceedings;2008-11-20

4. Extreme ultraviolet lithography: A review;Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures;2007

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