Molecular dynamics and dynamic Monte-Carlo simulation of irradiation damage with focused ion beams
Author:
Affiliation:
1. Tokushima Univ. (Japan)
Publisher
SPIE
Reference22 articles.
1. Introduction to Focused Ion Beams
2. Focused Ion Beam Systems
3. Bracco, G. and Host, B., (eds), [Surface Science Techniques], Springer, Berlin, 461–497 (2013).
4. Scanning Helium Ion Microscopy
5. Helium Ion Microscopy
Cited by 2 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献
1. A Boltzmann Transport Equation Model for Substrate Damage During Focused Helium Ion Beam Fabrication of Nanostructures;2023 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD);2023-09-27
2. Simulation of channeling contrast in scanning ion microscope images;AIP Advances;2018-01
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