Fabrication of low blaze angle gratings by replication and plasma etch
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Publisher
SPIE
Reference13 articles.
1. Wavefront preserving X-ray optics for Synchrotron and Free Electron Laser photon beam transport systems
2. https://als.lbl.gov/als-u/als-u-project-beamlines/
3. A Review on Fabrication of Blazed Gratings
4. Design, manufacturing and testing of gratings for synchrotron radiation
5. X-ray diffraction gratings: Precise control of ultra-low blaze angle via anisotropic wet etching
Cited by 2 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献
1. Nanometer flat blazed x-ray gratings using ion beam figure correction;Optics Express;2023-10-02
2. Advanced low blaze angle x-ray gratings via nanoimprint replication and plasma etch;Optics Express;2023-07-26
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