Mask formation on GaAs substrate by focused ion beams of Ga+ for plasma chemical etching

Author:

Klimin Viktor S.,Kots Ivan,Polyakova Victoria,Rezvan Alexey,Ageev Oleg

Publisher

SPIE

Reference32 articles.

1. Applications of Focused Ion Beams. In: High Resolution Focused Ion Beams: FIB and its Applications;Orloff,2003

2. Study of Electron Trap in Vapour Phase Epitaxial GaAs;Mircea;J. Appl. Phys.,1999

3. Study of Nanoscale Profiling Modes of GaAs Epitaxial Structures by Focused Ion Beams

4. InAs/GaAs(100) self-assembled quantum dots: arsenic pressure and capping effects

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