Sidewall slope sensitivity of CD-AFM
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SPIE
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1. Determination of steep sidewall angle using polarization-sensitive asymmetric scattering;Measurement Science and Technology;2021-05-17
2. Analysis for system errors in measuring the sidewall angle of a silica waveguide with confocal laser scanning microscope (CLSM);Measurement Science and Technology;2019-01-04
3. EUV scatterometer with a high-harmonic-generation EUV source;Optics Express;2016-11-22
4. Advances in the atomic force microscopy for critical dimension metrology;Measurement Science and Technology;2016-11-18
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