Interdiffusion and reaction in Cu/PtSi/Si(100) systems
Author:
Publisher
AIP Publishing
Subject
General Physics and Astronomy
Link
http://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/1.356016
Reference18 articles.
1. Interdiffusion and compound formation in the cSi/PtSi/(TiW)/Al system
2. Investigation of the Al/TiSi2/Si contact system
3. Thermal stability of the Cu/PtSi metallurgy
4. Thermal stability of the Cu/Pd/Si metallurgy
5. Thermal stability of the Cu/Ta/PtSi structures
Cited by 2 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献
1. Thermal Stability of Cu/NiSi-Contacted p+n Shallow Junction;Japanese Journal of Applied Physics;2004-09-09
2. Cavity ringdown laser absorption spectroscopy and time‐of‐flight mass spectroscopy of jet cooled platinum silicides;The Journal of Chemical Physics;1996-02-22
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