Modeling the adsorption of fluorine by a carbon polymer surface

Author:

Vinokursky Dmitriy,Kononova Natalia,Agakhanova Yana,Shelestov Nikita,Orlinskaya Oksana

Publisher

AIP Publishing

Reference11 articles.

1. Density Functional Theory Study of Oxygen Adsorption on Polymer Surfaces for Atomic-Layer Etching: Implications for Semiconductor Device Fabrication

2. D. Vinokursky, N. Kononova, Y. Agakhanova, D. Miroshnichenko and N. Shelestov, Information Technologies and Intelligent Decision Making Systems 2843 (2021).

3. Density functional theory: An introduction

4. J. Tao, The Journal of Chemical Physics 115 (2001).

5. S. Zabelok, AIP Conference Proceedings 1628 (2014).

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