1. IMTEK, Faculty of Engineering, Albert Ludwigs University Freiburg, Georges Köhler Allee 103, 79110 Freiburg, Germany
2. Karlsruhe Institute of Technology, Institute for Applied Materials and Karlsruhe Nano Micro Facility, Hermann-von-Helmholtz-Platz 1, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Germany
3. Karlsruhe Institute of Technology, Institute of Functional Interfaces and Karlsruhe Nano Micro Facility, Hermann-von-Helmholtz-Platz 1, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Germany
4. RUBION, Zentrale Einrichtung für Ionenstrahlen und Radionuklide, Ruhr-Universität Bochum, Universitätsstr. 150, 44780 Bochum, Germany
5. Institute of Semiconductor Electronics, RWTH Aachen University, Sommerfeldstr. 18, 52074 Aachen, Germany
6. Karlsruhe Institute of Technology, Physikalisches Institut, Wolfgang Gaede Str. 1, 76131 Karlsruhe, Germany
7. Institut für Oberflächen- und Schichtanalytik GmbH, Trippstadter Str. 120, 67663 Kaiserslautern, Germany