Influence of the temporal variations of plasma composition on the cyclic formation of dust in hexamethyldisiloxane-argon radiofrequency discharges: Analysis by time-resolved mass spectrometry

Author:

Despax B.1ORCID,Gaboriau F.1,Caquineau H.1,Makasheva K.1ORCID

Affiliation:

1. LAPLACE (Laboratoire Plasma et Conversion d’Energie), Université de Toulouse, CNRS, UPS, INPT, 118 Route de Narbonne, F-31062 Toulouse cedex 9, France

Funder

RTRA-STAE, Toulouse, France, project 3PCkeys

Publisher

AIP Publishing

Subject

General Physics and Astronomy

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