Asymptotic estimates of diffusion times for rapid thermal annealing
Author:
Publisher
AIP Publishing
Subject
Physics and Astronomy (miscellaneous)
Link
http://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/1.95603
Reference3 articles.
1. Exact description and data fitting of ion‐implanted dopant profile evolution during annealing
2. Thermal desorption of gases
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1. Further Time-Dependent Examples;Diffusion Phenomena;2001
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