Silicon-on-insulator structures with a nitrogenated buried SiO2 layer: Preparation and properties
Author:
Publisher
Pleiades Publishing Ltd
Subject
Condensed Matter Physics,Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials
Link
http://link.springer.com/content/pdf/10.1134/S1063782611030201.pdf
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1. Silicon-on-Insulator Structures Produced by Ion-Beam Synthesis and Hydrogen Transfer;Advances in Semiconductor Nanostructures;2017
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