Influence of Surface Curvature on Silicon Sputtering by Low-Energy Ar Ions
Author:
Publisher
Pleiades Publishing Ltd
Subject
Physics and Astronomy (miscellaneous)
Link
http://link.springer.com/content/pdf/10.1134/S1063785020120135.pdf
Reference13 articles.
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1. Second order corrections to the sputter yield of a curved surface;Journal of Applied Physics;2021-05-21
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